専用型ロードセル
引上機用ロードセル
TT-XNⅡ
受注生産
半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。
- 特長
-
- 従来以上のオーバーロード保護
- 大口径インゴット引き上げ時のシードタッチの微小荷重の計測が可能な二段式（二出力）タイプ
- 差動出力によりノイズに強い
- 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02％ R.O. と高性能、高分解能のロードセルを使用
- 温度特性は、0.03％ R.O./10℃（ゼロ点変化＋感度変化）と非常に安定している
- 主な仕様
- 外形寸法図
- 事例
- ダウンロード
主な仕様
| 二段式 | 容器構造 | 定格容量（N） |
|---|---|---|
| 二段式（二出力） | 常圧ガスパージ型 | 100N-500N |
| 型式 | TT-XNⅡ |
|---|---|
| 許容過負荷 | 600N |
| 直線性 | 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N) |
| ヒステリシス | 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N) |
| 繰り返し性 | 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N) |
| 温度特性 | 0.03%R.O./10℃ |
| ゼロ点調整範囲 | 約±25% R.O. (内部アンプの基板上で調整) |
| 最小分解能 | 0.001% R.O.(検出可能な変化量であり、安定性は含まず） |
| スリップリング回転ノイズ | 50μVp-p以下（100rpm以下にて） |
| スリップリング寿命 | 2 x 107 回転 |
| 応答性 | 約1Hz/-3dB |
| オーバーロード保護 | 重力方向に約120%の荷重にてロードセル部を保護(過負荷保護機構付) 重力方向と逆方向(突上げ方向)はロードセルから 荷重伝達部品を切り離してロードセルを保護 |
| 電源 | 15VDC±10% 消費電流 300mA以下 |
| 出力 | 100Nロードセル: 0 〜 約10V DC 500Nロードセル：0～約10V DC |
| 使用温度範囲 | 0℃～50℃ |
| 容器構造 | 常圧型 |
| 容器材質 | SUS304 |
| 本体重量 | 約 8kg |
外形寸法図
事例
- 単結晶引き上げ機
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| 製品カタログ |
|---|
【関連製品】指示計／アンプ／ロードセルアクセサリ（一部製品）
