専用型ロードセル
引上機用ロードセル
TT-XNⅡ
受注生産
半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。
- 特長
-
- 従来以上のオーバーロード保護
- 大口径インゴット引き上げ時のシードタッチの微小荷重の計測が可能な二段式(二出力)タイプ
- 差動出力によりノイズに強い
- 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02% R.O. と高性能、高分解能のロードセルを使用
- 温度特性は、0.03% R.O./10℃(ゼロ点変化+感度変化)と非常に安定している
- 主な仕様
- 外形寸法図
- 事例
- ダウンロード
主な仕様
二段式 | 容器構造 | 定格容量(N) |
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二段式(二出力) | 常圧ガスパージ型 | 100N-500N |
型式 | TT-XNⅡ |
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許容過負荷 | 600N |
直線性 | 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N) |
ヒステリシス | 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N) |
繰り返し性 | 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N) |
温度特性 | 0.03%R.O./10℃ |
ゼロ点調整範囲 | 約±25% R.O. (内部アンプの基板上で調整) |
最小分解能 | 0.001% R.O.(検出可能な変化量であり、安定性は含まず) |
スリップリング回転ノイズ | 50μVp-p以下(100rpm以下にて) |
スリップリング寿命 | 2 x 107 回転 |
応答性 | 約1Hz/-3dB |
オーバーロード保護 | 重力方向に約120%の荷重にてロードセル部を保護(過負荷保護機構付) 重力方向と逆方向(突上げ方向)はロードセルから 荷重伝達部品を切り離してロードセルを保護 |
電源 | 15VDC±10% 消費電流 300mA以下 |
出力 | 100Nロードセル: 0 〜 約10V DC 500Nロードセル:0~約10V DC |
使用温度範囲 | 0℃~50℃ |
容器構造 | 常圧型 |
容器材質 | SUS304 |
本体重量 | 約 8kg |
外形寸法図
事例
- 単結晶引き上げ機
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製品カタログ |
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