半導体・FPD製造工程用製品

結晶育成から信頼性検査まで、半導体全工程に
ティアックのロードセルは採用されています。

インゴットの引上げ

多結晶を石英ルツボの中で溶融し、種結晶棒を回転させながら引上げ
単結晶棒を作ります(CZ法によるインゴット引上げ)。

引上機用ロードセル TT-XNⅡ
引上機用ロードセル
TT-XNⅡ
  • 単結晶育成荷重計
  • 微少荷重の計測が可能な二段式タイプ
  • 差動出力によりノイズに強い
引張・圧縮型ロードセル TU-PGRS-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-PGRS-G
  • 大口径シリコンウェーハ引き上げ用
  • 密封構造
  • 高精度
引張・圧縮型ロードセル TU-PGRH-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-PGRH-G
  • 大口径シリコンウェーハ引き上げ用
  • 超高精度
インゴットの切断

インゴットをダイヤモンドブレードで所定の厚さに切断し、
ウェーハを作ります。

引張・圧縮型ロードセル TU-GR-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-GR-G
  • 薄型・せん断型・センターホール型
引張・圧縮型ロードセル TU-NR-C-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-NR-C-G
  • 薄型気密構造・小型・軽量・
    コネクタタイプ
荷重動力計
荷重動力計
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
ウェーハの研磨

ウェーハの表面をラップ・ポリッシュ研磨します。

引張・圧縮型ロードセル TU-NR-C-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-NR-C-G
  • 薄型気密構造・小型・軽量・
    コネクタタイプ
  • ラッピングマシンに最適
引張・圧縮型ロードセル TU-PGRS-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-PGRS-G
  • 高精度・密封構造・高安定性
引張・圧縮型ロードセル TU-PGRH-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-PGRH-G
  • 超高精度型・密封構造
  • 通電特性と温度特性が良い
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
ウェーハ平坦化(CMP)

ウェーハの表面をラップ・ポリッシュ研磨し、凸凹を平坦化します。

引張・圧縮型ロードセル TU-NR-C-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-NR-C-G
  • 薄型気密構造・小型・軽量・
    コネクタタイプ
引張・圧縮型ロードセル TU-GR-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-GR-G
  • 薄型・せん断型・センターホール型
  • 耐偏芯特性・耐疲労特性
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
ウェーハ検査(プローバー)

ウェーハをチップごとに試験します。
良品·不良品の確定をし、不良品にはマークをつけます。

圧縮型ロードセル TC-USR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)-G3
  • 超低容量・ストッパー付き・ネジ穴
  • Φ17~30まで
圧縮型ロードセル TC-NSRSP(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)-G3
  • スパッタリング方式
  • 小型・軽量・取付けネジ穴
圧縮型ロードセル TC-LPR(T)-G
圧縮型ロードセル
TC-LPR(T)-G
  • 薄型
  • ロードボタン取り外し可能
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
ウェーハのダイシング

ウェーハをチップに切断します。

引張・圧縮型ロードセル TU-GR-G
引張・圧縮型ロードセル
TU-GR-G
  • 薄型・せん断型・センターホール型
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
デジタル指示計 TD-260T
デジタル指示計
TD-260T
  • 数値表示
  • 各種ホールド・接点表示
ワイヤーボンディング

リードフレームとチップを約25μmの金線などで接続します。

圧縮型ロードセル TC-SR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-SR(T)-G3
  • 固定方法:接着・ハウジング固定
  • 小型・軽量
圧縮型ロードセル TC-USR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)-G3
  • 固定方法:接着・ネジ穴
  • 超低容量
  • 温度影響に強い
圧縮型ロードセル TC-NSRSP(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)-G3
  • 固定方法:ネジ穴
  • 独自の構造
  • 高精度・高応答・高安定度
圧縮型ロードセル TC-MFSR(T)-G
圧縮型ロードセル
TC-MFSR(T)-G
  • 固定方法:接着・ハウジング固定
  • ロードポイントがフラット
圧縮型ロードセル TC-NSR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-NSR(T)-G3
  • 固定方法:ネジ穴
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
デジタル指示計 TD-260T
デジタル指示計
TD-260T
  • 数値表示
  • 各種ホールド・接点表示
トリム&フォーム

フレームを切断し、リードを成型します。

圧縮型ロードセル TC-SR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-SR(T)-G3
  • 固定方法:接着・ハウジング固定
  • 小型・軽量
圧縮型ロードセル TC-USR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)-G3
  • 固定方法:接着・ネジ穴
  • 超低容量
  • 温度影響に強い
圧縮型ロードセル TC-NSRSP(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)-G3
  • 固定方法:ネジ穴
  • 独自の構造
  • 高精度・高応答・高安定度
圧縮型ロードセル TU-QR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TU-QR(T)-G3
  • 固定方法:M3ネジ穴
  • 引張圧縮両用
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
デジタル指示計 TD-260T
デジタル指示計
TD-260T
  • 数値表示
  • 各種ホールド・接点表示
薬液の管理

液体、気体ボンベの残量を管理します。

低床ロードセル式台はかり TL-PP
低床ロードセル式台はかり
TL-PP
  • 高精度0.03%~0.05%
  • 120~420mm
低床ロードセル式台はかり TL-PS
低床ロードセル式台はかり
TL-PS
  • 標準型
  • 標準型120~600mm
低床ロードセル式台はかり TL-PW
低床ロードセル式台はかり
TL-PW
  • 簡易防水型(IP53相当)
  • 220~600mm
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
デジタル指示計 TD-260T
デジタル指示計
TD-260T
  • 数値表示
  • 各種ホールド・接点表示
組み立て(貼りあわせ)

液晶の各層を貼りあわせます。

圧縮型ロードセル TC-USR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)-G3
  • 超低容量・ストッパー付き・ネジ穴
  • Φ17~30まで
圧縮型ロードセル TC-XR(T)-G
圧縮型ロードセル
TC-XR(T)-G
  • 薄型・プレス成型機器に最適
  • 20kN~300kNまで対応
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
デジタル指示計 TD-260T
デジタル指示計
TD-260T
  • 数値表示
  • 各種ホールド・接点表示
材料の重量管理

ホッパーの重量を管理します。

デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
スポット溶接加圧力測定用

スポット溶接時の加圧力を最適に制御するために使用します。

加圧力計 TC-WLD(T)
加圧力計
TC-WLD(T)
  • 小型・軽量
  • 抵抗溶接の加圧力測定に
ポータブルデジタル指示計 TD-01 Portable
ポータブルデジタル指示計
TD-01 Portable
  • ハンディ・乾電池駆動
  • 数値・グラフ表示
チップマウンター

プリント基板に電子部品を配置するためのチップマウンターの荷重制御用に使用します。

圧縮型ロードセル TC-SR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-SR(T)-G3
  • 固定方法:接着・ハウジング固定
  • 小型・軽量
圧縮型ロードセル TC-USR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)-G3
  • 固定方法:接着・ネジ穴
  • 超低容量
  • 温度影響に強い
圧縮型ロードセル TC-NSRSP(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)-G3
  • 固定方法:ネジ穴
  • 独自の構造
  • 高精度・高応答・高安定度
圧縮型ロードセル TC-MFSR(T)-G
圧縮型ロードセル
TC-MFSR(T)-G
  • 固定方法:接着・ハウジング固定
  • ロードポイントがフラット
圧縮型ロードセル TC-NSR(T)-G3
圧縮型ロードセル
TC-NSR(T)-G3
  • 固定方法:ネジ穴
デジタル指示計 TD-700T
デジタル指示計
TD-700T
  • 数値・バーメーター表示
  • 各種ホールド・接点標準装備
  • CC-Link
デジタル指示計 TD-260T
デジタル指示計
TD-260T
  • 数値表示
  • 各種ホールド・接点表示
生産現場のマシンチェック

機器に組み込まれたロードセルをチェックします。

ポータブルデジタル指示計 TD-01 Portable
ポータブルデジタル指示計
TD-01 Portable
  • ハンディ(専用ケースあり)
  • カラー液晶・数値/グラフ表示
  • 乾電池・USB駆動