半導体・FPD製造工程用製品
結晶育成から信頼性検査まで、半導体製造工程に
ティアックのロードセルは採用されています。
インゴットの引上げ
多結晶を石英ルツボの中で溶融し、種結晶棒を回転させながら引上げ
単結晶棒を作ります(CZ法によるインゴット引上げ)。
引上機用ロードセル
TT-XNⅡ / TT-XNⅡ(G)
- 単結晶育成荷重計
- 微少荷重の計測が可能な二段式タイプ
- 耐ノイズ、オーバーロード保護機能
引上機用ロードセル
TT-XNS / TT-XNS(G)
- 単結晶育成荷重計
- オーバーロード保護
引張・圧縮型ロードセル
TU-PGRH☐☐N/KN-G
- 大口径シリコンウェーハ引き上げ用
- 超高精度
引張・圧縮型ロードセル
TU-PGRS☐☐N/KN-G
- 大口径シリコンウェーハ引き上げ用
- 高精度
インゴットの切断
インゴットをダイヤモンドブレードで所定の厚さに切断し、
ウェーハを作ります。
デジタル指示計
TD-700T
- 標準型
- 各種ホールド機能
- CC-Link
TEDS規格準拠カラーグラフィック
プレス・圧入用デジタル指示計
TD-9000T
- 多機能型
- ロードセル+変位の2入力に対応
- EtherNet/IP
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
ウェーハの研磨
ウェーハの表面をラップ・ポリッシュ研磨します。
引張・圧縮型ロードセル
TU-NR-C☐☐KN-G
- 薄型気密構造・小型・軽量・
コネクタタイプ
引張・圧縮型ロードセル
TU-GR☐☐KN-G
- 薄型・せん断型・センターホール型
- 耐偏芯特性・耐疲労特性
デジタル指示計
TD-700T
- 標準型
- 各種ホールド機能
- CC-Link
TEDS規格準拠カラーグラフィック
プレス・圧入用デジタル指示計
TD-9000T
- 多機能型
- ロードセル+変位の2入力に対応
- EtherNet/IP
ウェーハ平坦化(CMP)
ウェーハの表面をラップ・ポリッシュ研磨し、凸凹を平坦化します。
引張・圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)☐☐N-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- スパッタリングゲージ採用により、
高応答・高安定度を実現
デジタル指示計
TD-700T
- 標準型
- 各種ホールド機能
- CC-Link
TEDS規格準拠カラーグラフィック
プレス・圧入用デジタル指示計
TD-9000T
- 多機能型
- ロードセル+変位の2入力に対応
- EtherNet/IP
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
ウェーハ検査(プローバー)
ウェーハをチップごとに試験します。
良品·不良品の確定をし、不良品にはマークをつけます。
圧縮型ロードセル
TC-LPR(T)☐☐N/KN-G6
- 薄型
- ロードボタン取り外しが自由
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)☐☐N/KN-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- 500%耐過負荷対策構造
- 高精度
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)☐☐N-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- スパッタリングゲージ採用により、
高応答・高安定度を実現
デジタル指示計
TD-700T
- 標準型
- 各種ホールド機能
- CC-Link
TEDS規格準拠カラーグラフィック
プレス・圧入用デジタル指示計
TD-9000T
- 多機能型
- ロードセル+変位の2入力に対応
- EtherNet/IP
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
ワイヤーボンディング
リードフレームとチップを約25μmの金線などで接続します。
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)☐☐N/KN-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- 500%耐過負荷対策構造
- 高精度
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)☐☐N-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- スパッタリングゲージ採用により、
高応答・高安定度を実現
デジタル指示計
TD-700T
- 標準型
- 各種ホールド機能
- CC-Link
TEDS規格準拠カラーグラフィック
プレス・圧入用デジタル指示計
TD-9000T
- 多機能型
- ロードセル+変位の2入力に対応
- EtherNet/IP
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
トリム&フォーム
フレームを切断し、リードを成型します。
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)☐☐N/KN-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- 500%耐過負荷対策構造
- 高精度
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)☐☐N-G3
- 屈曲に強いロボットケーブル採用
- スパッタリングゲージ採用により、
高応答・高安定度を実現
デジタル指示計
TD-700T
- 標準型
- 各種ホールド機能
- CC-Link
TEDS規格準拠カラーグラフィック
プレス・圧入用デジタル指示計
TD-9000T
- 多機能型
- ロードセル+変位の2入力に対応
- EtherNet/IP
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
薬液の管理
液体、気体ボンベの残量を管理します。
低床ロードセル式台はかり
TL-LF
- 小型(80mm)
低床ロードセル式台はかり
TL-PM
- 薄型
- 120~210mm
低床ロードセル式台はかり
TL-PS
- 標準型
- 標準型120~600mm
低床ロードセル式台はかり
TL-PW
- 簡易防水型(IP53相当)
- 220~600mm
デジタル指示計
TD-700T
- 数値・バーメーター表示
- 各種ホールド・接点標準装備
- CC-Link
デジタル指示計
TD-260T
- 数値表示
- 各種ホールド・接点表示
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
組み立て(貼りあわせ)
液晶の各層を貼りあわせます。
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)☐☐N/KN-G3
- 超低容量・ストッパー付き・ネジ穴
- Φ17~30まで
圧縮型ロードセル
TC-XR(T)☐☐KN-G6
- 薄型・プレス成型機器に最適
- 20kN~300kNまで対応
デジタル指示計
TD-700T
- 数値・バーメーター表示
- 各種ホールド・接点標準装備
- CC-Link
デジタル指示計
TD-260T
- 数値表示
- 各種ホールド・接点表示
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター
スポット溶接加圧力測定用
スポット溶接時の加圧力を最適に制御するために使用します。
加圧力計
TC-WLD(T)☐☐kN-G
- 小型・軽量
- 抵抗溶接の加圧力測定に
ポータブルデジタル指示計
TD-01 Portable
- ハンディ・乾電池駆動
- 数値・グラフ表示
チップマウンター
プリント基板に電子部品を配置するためのチップマウンターの荷重制御用に使用します。
圧縮型ロードセル
TC-SR(T)☐☐N/KN-G3
- 固定方法:接着・ハウジング固定
- 小型・軽量
圧縮型ロードセル
TC-USR(T)☐☐N/KN-G3
- 固定方法:接着・ネジ穴
- 超低容量
- 温度影響に強い
圧縮型ロードセル
TC-NSRSP(T)☐☐N-G3
- 固定方法:ネジ穴
- 独自の構造
- 高精度・高応答・高安定度
圧縮型ロードセル
TC-MFSR(T)☐☐N-G
- 固定方法:接着・ハウジング固定
- ロードポイントがフラット
デジタル指示計
TD-700T
- 数値・バーメーター表示
- 各種ホールド・接点標準装備
- CC-Link
デジタル指示計
TD-260T
- 数値表示
- 各種ホールド・接点表示
ロードセル
シグナルコンディショナ―
TD-SC1
- 組込み型
- 豊富なネットワーク
(EtherNet/IP・CC-Link・RS-485) - PCによる設定・モニター