半導体製造⼯程・基板実装⼯程⽤ロードセルのご紹介
ティアック ロードセルの特長
- お使いの他社様のロードセルの形状・性能と同等のロードセルをご提供できます。
- 同形状のロードセルをベースとした⾼機能・形状カスタマイズ版の製作が可能です。
- 結晶育成荷重計のような、専⽤機種を製作することができます。
- 低容量・⼩型の製品を得意としています。
カスタマイズのご相談もお受けいたします。
使⽤場⾯別ラインナップ
インゴット引上げ
半導体ウエハーに必要なシリコンやサファイアなどの単結晶を引き上げる際に使⽤します。
様々なガス雰囲気の中でも引上げ時の微量な荷重変化を⾼精度かつ安定的に検出します。
種結晶の先端にロードセルを設置し荷重制御
対応ロードセル：結晶育成荷重計
| 型式 | TT-XNⅡ（常圧型） TT-XNⅡ(G)（常圧ガスパージ型） |
TT-XNS（常圧型） TT-XNS(G)（常圧ガスパージ型） |
||
|---|---|---|---|---|
| 定格容量 | 低容量部：100N | 高容量部：500N | 20N～500N | |
| 許容過負荷 | 600N | 120% R.C. | ||
| オーバーロード 保護※ |
あり | あり | ||
| 本体質量 | 8kg | 8kg | ||
| 付属品 | φ6、6芯シールドケーブル、先端 NDISジャックーパラ（長さは要相談） |
φ10、6芯シールドケーブル、先端 NDISジャックーパラ（長さは要相談） |
||
| 寸法図はこちら | 寸法図はこちら | |||
※オーバーロード保護
- TT‐XNⅡ：
- 重⼒⽅向に約120％の荷重にてメカニカルストッパーでロードセルを保護逆⽅向（突き上げ⽅向）はロードセルから荷重伝達部品を切り離してロードセルを保護。
- TT‐XNS：
- 重⼒⽅向は110％〜120％の荷重にてメカニカルストッパーでロードセルを保護。逆⽅向（突き上げ⽅向）は約120％の荷重にてメカニカルストッパーでロードセルを保護。
対応ロードセル：⼤⼝径インゴット荷重管理⽤
| 型式 | TU-PGRS☐☐N/KN-G |
|---|---|
| 定格容量 | 2kN～5kN |
| 荷重方向 | 引張・圧縮 |
| 特長 | 超高精度 |
| 寸法図はこちら |
研磨（ポリシング・ラッピング）
シリコンウエーハの研磨（ラッピング・ポリシング）加⼯時の押し圧管理の際に使⽤します。
回転する台の押し付け圧（⼒）を測定
ロードセル設置場所：作業⼯程により、上部研磨部に設置する場合と上下部に設置する場合があります。
対応ロードセル：ポリシング用
| 型式 | TC‐FR(T)☐☐N‐G6 | TC-NSRSP(T)☐☐N-G3 | TU-PGRS☐☐N/KN-G |
|---|---|---|---|
| 定格容量 | 200N～500N | 50N～500N | 100N～500N |
| 荷重方向 | 圧縮 | 圧縮 | 引張・圧縮 |
| 特長 | 各社共通の形状 スタンダードタイプ |
スパッタ薄膜ゲージ採用 高応答タイプ |
超高精度 |
| 寸法図はこちら | 寸法図はこちら | 寸法図はこちら |
対応ロードセル：ラッピング⽤
ウェーハテスト
ウェーハ上に形成されたチップの電気的特性を試験する際の荷重管理に使⽤します。
プローブカードの押し圧管理
対応ロードセル
ボンディング
ボンディングの押し圧管理に使⽤します。
対応ロードセル：ワイヤーボンディング⽤
| 用途 | 加圧力 | 加圧力 | 加圧力 | 加圧力 |
|---|---|---|---|---|
| 型式 | TC-USR(T)29☐☐N-G3 | TC-NSRSP(T)☐☐N-G3 | TC-SR(T)50N-G | TC-SR(T)100N-G3 |
| 定格容量 | 50N・100N | 50N・100N | 50N | 100N |
| 荷重方向 | 圧縮 | 圧縮 | 圧縮 | 圧縮 |
| 特長 | オーバーロード保護機能 | 高応答タイプ スパッタ薄膜ゲージ採用 |
各社共通の形状 スタンダードタイプ |
各社共通の形状 スタンダードタイプ |
| 寸法図はこちら | 寸法図はこちら | 寸法図はこちら | 寸法図はこちら |
| 用途 | ワイヤー引張強度 |
|---|---|
| 型式 | TU-MBR(T)☐☐N-G3 |
| 定格容量 | 2N・5N・10N・20N |
| 荷重方向 | 引張・圧縮 |
| 特長 | 許容過負荷500％ |
| 寸法図はこちら |
対応ロードセル：フリップチップボンディング/ダイボンディング⽤
最終検査（ハンドラー）
半導体デバイスの性能評価や良否判定を⾏います。
対応ロードセル
マウンター
基板実装⼯程においてプリント基板に電子部品を配置するためのチップマウンターの荷重制御用に使用します。
吸着して基板を置く際の重さを計測
台座下部にロードセルを設置
対応ロードセル
薬液の管理
液体、気体ボンベの残量を管理します。
ボンベ重量を低床ロードセル式台はかりで検出
対応ロードセル（台はかり）
TL-LF
| 型式 | TL-LF |
|---|---|
| 本体質量 | 0.4kg |
| 定格容量 | 0.6/1/3kg |
| 許容過負荷 | 120% |
| 特長 | 超小型 |
| 寸法図はこちら |
TL-PM
| 型式 | TL-PM12 | TL-PM18 | TL-PM21 |
|---|---|---|---|
| 本体質量 | 0.7kg | 1.4kg | 1.7kg |
| 定格容量 | 10/20/50kg | ||
| 許容過負荷 | 150% | ||
| 特長 | 超小型 | ||
| 寸法図はこちら | |||
TL-PS
| 型式 | TL-PS18 | TL-PS21 | TL-PS25 | TL-PS28 |
|---|---|---|---|---|
| 本体質量 | 2.0kg | 2.7kg | 3.8kg | 4.5kg |
| 定格容量 | 10/20/50kg | 20/50/100/200kg | ||
| 許容過負荷 | 150% | |||
| 特長 | 標準型 | |||
| 寸法図はこちら | ||||
| 型式 | TL-PS33 | TL-PS42 |
|---|---|---|
| 本体質量 | 6.2kg | 11.1kg |
| 定格容量 | 50/100/200kg | 100/200/300kg |
| 許容過負荷 | 150% | |
| 特長 | 標準型 | |
| 寸法図はこちら | ||
