引上機用ロードセル 特長・原理

結晶育成荷重計は、主にチョクラルスキー(CZ)法などの成長していく単結晶の直径制御用として、その重量を電気信号に変換する荷重センサーです。結晶育成荷重計は、荷重感度部(ロードセル)、増幅部(アンプ)、回転からの信号を外部に伝えるスリップリングおよびこれらを収納する容器より構成されています。
荷重感度部には、本来の諸特性の性能はもちろんのこと、引き上げ重量の自動直径制御用など長時間使用される時に重要なゼロ点移動、感度変化、クリープ特性などを追求した、新設計の構造に特長のある小型高精度のロードセルを使用しています。
増幅部は、温度に対するゼロ点の変化、感度の安定など長時間に耐えられるようになっています。回転する増幅部への駆動電源、荷重出力電圧などを伝えるスリップリングは、耐久回転数(2×10の7乗)、ノイズ性能に定評のある物を使用しておりますので、長時にわたって安定した性能で使用できます。
これらを収納する容器には、常圧型、常圧ガスパージ型を用意しておりますので、用途にあわせて選択が可能です。また、真空型、耐圧型などのご要望にもお応えします。詳しくはお問い合わせください。

特長

  • 従来以上のオーバーロード保護
  • 大口径インゴット引き上げ時のシードタッチから判別可能な二段式(二出力)タイプ
  • 差動出力によりノイズに強い
  • 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02% R.O. と高性能、高分解能のロードセルを使用
  • 温度特性は、0.03% R.O./10℃(ゼロ点変化+感度変化)と非常に安定している