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引上機用ロードセル TT-XNS

半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。

受注生産

特長
  • 荷重感度部(ロードセル)、増幅部、スリップリング、収納する容器より構成
  • 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02% R.O.と高性能、高分解能のロードセルを使用
  • 温度特性は、0.03% R.O./10℃(ゼロ点変化+感度変化)と非常に安定している
  • 回転ノイズ特性が非常に良い
  • オーバーロード保護機能

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型名 容器構造 定格容量(N)
TT-XNS 常圧型 20N~500N
型名 TT-XNS
許容過負荷 120% R.C.
非直線性 0.02%R.O.
ヒステリシス 0.02%R.O.
繰り返し性 0.02%R.O.
温度特性 0.03%R.O./10℃
ゼロ点調整範囲 約±10% R.O.(ゼロ点調整トリマによる調整範囲)
感度調整範囲 約±5% R.O.(電気的に調整)
最小分解能 0.001% R.O.(検出可能な変化量であり、安定性は含まず)
スリップリング回転ノイズ 50μVp-p以下(100rpm以下にて)
応答性 約2Hz/-3dB
オーバーロード保護 重力方向は110%~120%の荷重にてロードセルを保護
逆方向(突上げ方向)は約120%の荷重にてロードセルを保護
電源 ±15V±10% DC50mA 以下
出力 0 ~+10V 出力インピーダンス500Ω以下
使用温度範囲 0℃~50℃
回転方向 両回転方向可能
スリップ回転機構 約5N・cm(トルク指定可)
容器構造 常圧型
容器材質 SUS304
ケーブル φ10 6芯シールドケーブル0.5m
先端N-DIS プラグ(タジミPRC03-12A10-7M10.5)
付属ケーブル φ10 6芯シールドケーブル10m
先端NDIS ジャック(タジミPRC03-32A10-7F)
外形寸法図
引上機用ロードセル
  • 単結晶引き上げ機
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