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引上機用ロードセル TT-XNⅡ

半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。

受注生産RoHS対応

特長
  • 従来以上のオーバーロード保護
  • 大口径インゴット引き上げ時のシードタッチから判別可能な二段式(二出力)タイプ
  • 差動出力によりノイズに強い
  • 荷重感度部に非直線、ヒステリシス、繰り返し性が0.02% R.O. と高性能、高分解能のロードセルを使用
  • 温度特性は、0.03% R.O./10℃(ゼロ点変化+感度変化)と非常に安定している

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二段式 容器構造 定格容量(N)
二段式(二出力) 常圧ガスパージ型 100N-500N
型名 TT-XNⅡ
許容過負荷 600N
非直線性 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N)
ヒステリシス 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N)
繰り返し性 0.02%R.O.(100N) 0.05% R.O.(500N)
温度特性 0.03%R.O./10℃
ゼロ点調整範囲 約±25% R.O. (内部アンプの基板上で調整)
最小分解能 0.001% R.O.(検出可能な変化量であり、安定性は含まず)
スリップリング回転ノイズ 50μVp-p以下(100rpm以下にて)
スリップリング寿命 2 x 107 回転
応答性 約1Hz/-3dB
オーバーロード保護 重力方向に約120%の荷重にてロードセル部を保護(過負荷保護機構付)
重力方向と逆方向(突上げ方向)はロードセルから
荷重伝達部品を切り離してロードセルを保護
電源 ±15VDC±10% 消費電流 300mA以下
出力 100Nロードセル: 0 〜 約10V DC
500Nロードセル:0~約10V DC
使用温度範囲 0℃~50℃
容器構造 常圧型
容器材質 SUS304
本体重量 約 8kg
外形寸法図
引上機用ロードセル
  • 単結晶引き上げ機
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